Ingenieurbüro für Angewandte Spektrometrie

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Applikationen

Schichtdickenmessung

Diese Seiten (bitte links im Menü auswählen) erläutern die Schichtdickenmessung über die sog. Weißlicht-Interferenz, die wir mit Hilfe unserer Spektrometer an dünnen, transparenten Schichten durchführen. Die TranSpec Lite und TranSpec Schichtdickenmessgeräte zeichnen sich durch folgende, besondere Merkmale aus:

Berührungslose und zerstörungsfreie Messung

Nicht-radiometrisches, optisches Verfahren mit Licht, keine Kalibrierung notwendig!

Schnelle Messung und Auswertung - innerhalb Millisekunden!

Großer Schichtdicken-Messbereich, bis zu ca. 0.1 - 150 µm

Hohe Genauigkeit - typisch besser ± 0.005 µm über den gesamten Messbereich

Gleichzeitige Bestimmung von Doppelschichten möglich

Koordinatengesteuerte Messung mit x/y/z-Traversieranlagen möglich

Applikationsschrift Schichtdickenmessung 

 


Plasma-Emissionsmessung

Eine objektive und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmaanlagen, wie z.B. bei der PVD (Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik. Neben der gemeinhin üblichen visuellen Begutachtung des Plasmas wird häufig die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht leicht zu interpretieren. Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec Spektrometer, klar auf der Hand:

Simultane Messung im Spektralbereich 200...1000 nm

Erfassung auch geringster Emissions-Strahlungsleistung

An praktisch jeden Rezipienten anschließbar

Wartungsfreie Technologie
- keine Wellenlängen-Rekalibrierung notwendig!

Komfortable und einfach zu bedienende Software PEM-ProVis Professional

Applikationsschrift Plasma-Emissionsmessung