Applikationen
Schichtdickenmessung
Grundlagen zur Methode
Schematischer Messaufbau
Beispiel: Schutzlacke
Beispiel: Vakuum-Verdampfung
Beispiel: Beschichtungsmaschinen
Plasma-Emissionsmessung
Schematischer Messaufbau
Diese Seiten (bitte links im Menü auswählen) erläutern die Schichtdickenmessung über die sog. Weißlicht-Interferenz, die wir mit Hilfe unserer Spektrometer an dünnen, transparenten Schichten durchführen. Die neuen FTM-Lite und TranSpec Schichtdickenmessgeräte zeichnen sich durch folgende, besondere Merkmale aus:
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Berührungslose und zerstörungsfreie Messung
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Nicht-radiometrisches, optisches Verfahren mit Licht
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Schnelle Messung und Auswertung - innerhalb Millisekunden!
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Großer Schichtdicken-Messbereich ca. 0.1 - 150 µm
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Hohe Genauigkeit - typisch besser ± 0.005 µm
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Gleichzeitige Bestimmung von Doppelschichten möglich
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Koordinatengesteuerte Messung mit x/y/z-Traversieranlagen möglich
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Messung auf sehr kleinen Flächen mit unserem FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop
Applikationsschrift Schichtdickenmessung
Eine objektive und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmaanlagen, wie z.B. bei der PVD (Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik. Neben der gemeinhin üblichen visuellen Begutachtung des Plasmas wird häufig die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht leicht zu interpretieren. Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec Spektrometer, klar auf der Hand:
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Simultane Messung im Spektralbereich 200...1000 nm
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Erfassung auch geringster Emissions-Strahlungsleistung
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An praktisch jeden Rezipienten anschließbar
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Wartungsfreie Technologie
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Komfortable und einfach zu bedienende Software PEM-ProVis Professional
Applikationsschrift Plasma-Emissionsmessung