Ingenieurbüro für Angewandte Spektrometrie

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Schichtdickenmessung


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Schichtdickenmessung von Schichten aus der Vakuum-Verdampfung


Die hochpräzise Technik unserer Schichtdicken-Messgeräte ermöglicht die Bestimmung der Dicke sogar im Submikro-Bereich, z.B. von Schichten aus der Vakuum-Verdampfung (z.B. Parylene) oder von Photolacken.
 

3D-Schichtdickenprofil einer Diamantschicht auf Silizium


Das Bild oben zeigt das 3D-Schichtdickenprofil einer circa 10 mm² großen Diamantschicht auf Silizium in einem Dickenbereich von ca. 0,8-1 Mikrometer. Jede Farbe in dem Bild umfasst einen relativen Dickenbereich von nur 12 nm. Beachten Sie die Feinstrukturen auf dem Plateau der Diamantschicht!