Applikationen
Schichtdickenmessung
Grundlagen zur Methode
Schematischer Messaufbau
Beispiel: Schutzlacke
Beispiel: Vakuum-Verdampfung
Beispiel: Beschichtungsmaschinen
Die hochpräzise Technik unserer Schichtdicken-Messgeräte ermöglicht die Bestimmung der Dicke sogar im Submikro-Bereich,
z.B. von Schichten aus der Vakuum-Verdampfung oder von Photolacken.
Das Bild oben zeigt das 3D-Schichtdickenprofil einer circa 10 mm² großen Diamantschicht auf
Silizium in einem Dickenbereich von ca. 800-1000 Nanometer. Jede Farbe in dem Bild umfasst
einen relativen Dickenbereich von nur 12 nm. Beachten Sie die Feinstrukturen auf dem
Plateau der Diamantschicht!