Applikationen
Schichtdickenmessung
Grundlagen zur Methode
Schematischer Messaufbau
Beispiel: Schutzlacke
Beispiel: Vakuum-Verdampfung
Beispiel: Beschichtungsmaschinen
Die Interferenzspektren von dünnen transparenten oder teiltransparenten
Schichten werden von unseren FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräten oder einem
TranSpec Prozess-Spektrometer gemessen und ausgewertet.
Die Abbildung rechts
zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Schichtdicken-Messplatzes. Die
zu messende Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der
mit dem Spektrometer und der Halogenleuchte ist.
Das
reflektierte Interferenzspektrum der Probe wird dem Spektrometer zugeführt,
spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke berechnet.
FTM-Lite NIR Schichtdicken-Messgerät
TranSpec Schichtdicken-Messgerät