Applikationen
Schichtdickenmessung
Grundlagen zur Methode
Schematischer Messaufbau
Beispiel: Schutzlacke
Beispiel: Vakuum-Verdampfung
Beispiel: Beschichtungsmaschinen
Zur Bestimmung der Schichtdicke mit Hilfe der Weisslicht-Interferenz wird
ein allgemein bekannter Effekt ausgenutzt, der z.B. bei Seifenblasen oder
einem dünnen Ölfilm auf Wasser auftritt. Man sieht Farberscheinungen, die
sich mit der Dicke der Schicht entsprechend ändern, indem z.B. eine
Seifenblase weiter aufgeblasen wird. Besuchen Sie auch diese
Soap Bubble Web Seite, die ein paar interessante Fotografien und
Erläuterungen zum Thema enthält!
Diese "Farben an dünnen Schichten" beruhen auf einer sog.
Interferenz-Erscheinung, d.h. auf der Überlagerung von Lichtwellen, die an
der Vorder- und Hinterseite der Schicht (sprich: an zwei Grenzflächen
unterschiedlicher optischer Dichte) reflektiert worden sind:
Die ungestörte Überlagerung der beiden reflektierten Lichtstrahlen 1 und 2 führt nun zu
periodischen Aufhellungen (Verstärkung) und Auslöschungen (Abschwächung) im Spektrum
eines weißen Kontinuumstrahlers, z.B. einer Halogenlampe. Da die Überlagerungen
der beiden Teilstrahlen nicht rein additiv ist, spricht man von einer Interferenz. Die
Abbildung rechts zeigt beispielhaft das Interferenzspektrum einer 1
Mikrometer und einer 2 Mikrometer dicken Schicht:
