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Eine objektive und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmen, wie z.B. die bei der PVD (Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik.

Neben der gemeinhin üblichen visuellen Begutachtung des Plasmas wird manchmal die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht leicht zu interpretieren.

Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec Spektrometer klar auf der Hand:

• Simultane Emissionsmessung im Spektralbereich ~ 200...1000 nm
• Erfassung auch geringster Emissions-Strahlungsleistung
• An praktisch jeden Rezipienten anschliessbar 
• Wartungsfreie Technologie - keine Kalibrierung für die gesamte Lebensdauer!
• Komfortable und einfach zu handhabende Software PEM-ProVis Professional
• Leistungsfähige Programmierbibliothek PEM-ProLib++ für eigene Applikationen




Plasma-Emissionsmessung


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