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Zur Bestimmung der Schichtdicke wird ein allgemein bekannter Effekt ausgenutzt, der zum Beispiel bei Seifenblasen oder auch bei einem dünnen Ölfilm auf Wasser auftritt. Man sieht Farberscheinungen, die sich mit der Dicke der Schicht entsprechend ändern, indem die Seifenblase weiter aufgeblasen wird.

Diese "Farben an dünnen Schichten" beruhen auf einer Interferenz-Erscheinung, das heißt auf der Überlagerung von Lichtwellen, die an der Vorder- und Hinterseite derSchicht (sprich: an zwei Grenzflächen unterschiedlicher optischer Dichte) reflektiert worden sind.

Die ungestörte Überlagerung der beiden reflektierten Lichtstrahlen 1 und 2 führt nun zu periodischen Aufhellungen (Verstärkung) und Auslöschungen (Abschwächung) im Spektrum eines weißen Kontinuumstrahlers, z.B. einer Halogenlampe. Da die Überlagerungen der beiden Teilstrahlen nicht rein additiv ist, spricht man voneiner Interferenz.  

Diese Interferenzspektren von dünnen transparenten oder teiltransparenten Schichten werden von unseren TranSpec Lite Schichtdicken-Messgeräten oder einem TranSpec Prozess-Spektrometer gemessen und ausgewertet. Die Abbildung rechts zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Schichtdicken-Messplatzes. Die zu messende Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der mit dem Spektrometer und der Halogenleuchte verbunden ist. Das reflektierte Interferenzspektrum der Probe wird dem Spektrometer zugeführt, spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke berechnet.

• Optisches Verfahren: berührungslos, zerstörungsfrei und nicht-radioaktiv, ohne Kalibrierung!
• Schnelle Messung und Auswertung - innerhalb Millisekunden!
• Großer Schichtdicken-Messbereich: ca. 0.1 bis 150 Mikrometer
• Hohe Genauigkeit: typisch besser ± 0.005 Mikrometer über den gesamten Bereich
• Gleichzeitige Bestimmung der Dicke von Doppelschichten und Dreifachschichten möglich
• Einfach zu bedienende Software FTM-ProVis Lite and FTM-ProVis Professional
• Leistungsfähige Programmierbibliothek FTM-ProLib++ für eigene Applikationen




Interferenzmodell


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